矩形中频磁控溅射靶

矩形中频磁控溅射靶

中频磁控溅射有效的解决了溅射靶靶面中毒的问题。

输入电压：AC380V±10%三相四线

输出空载电压：900V

输出电流：0-100%可调

输出功率：0-12kw

灭弧时间：<20us

1、磁控溅射靶尺寸：可定制

2、阴极表面磁场强度≥400Gs

3、靶的密封性能    漏率5×10-7Pa.m³/s

5、靶的绝缘性能    绝缘电阻 优于10M（1000V）

6、冷却腔水压试验  在0.4Mpa水压无渗漏。

7、靶的工作条件    工作电压300～600V 真空度～2×10-1Pa

另有旋转磁控溅射靶、直流磁控溅射吧、射频磁控溅射靶供您选择。